Установка ионно-лучевого полирования IP-10K
- Производитель: Остек-АртТул
- Код Товара: 90947-01
Ионно-лучевое полирование
После полирования наглядно видно, насколько чище выглядит поверхность поперечного сечения после полировки ионным пучком по сравнению с изображениями образцов с трещинами или механической полировкой
Модуль охлаждения
При работе с термочувствительными образцами риск теплового повреждения можно свести к минимуму, используя термоэлектрический охладитель на основе эффекта Пельтье, способный охладить образец до -20ºC
Вакуумный модуль
Если образец может деформироваться в атмосфере, имеется опция защиты. Модуль позволяет выполнять фрезерование и наблюдать за образцом
Ускоряющее напряжение ионов | 2-8 кВ |
Скорость фрезерования | 1000 мкм/ч (при 8 кВ на кремниевой подложке) |
Угол поворота предметного столика для образца | ±35° |
Максимальный размер образца |
|
Диапазон перемещения образца |
|
Диапазон углов наклона предметного столика при плоскостном фрезеровании | 10° - 85° |
Образец размера для плоскостного фрезерования | Ø32 × 18 (В) мм |
Управление операциями | Сенсорная панель с диагональю 17,78 см |
Цифровой микроскоп для позиционирования образца | Кратность увеличения 5x, 10x, 20x, 40x |
Внутренняя камера | Для выполнения мониторинга |
Кратность увеличения | 5x, 10x, 20x, 40x |
Регулировка яркости | В 4 шага |
Режим | Наблюдение за ионным пучком (светодиодный индикатор отключен) |
Инертный газ | Аргон (99,999%) |
Давление газа | 0.03 МПа - 0.05 МПа |
Регулирование расхода газа | Блок управления массовым расходом |
Вакуумные системы | Турбонасос, мембранный насос |
Размеры | 640 (Ш) × 492 (Г) × 282 (465) (В) мм |
Вес | Основная система 45 кг / Мембранный насос 6,5 кг |
Опции | Воздухозащитный модуль, модуль охлаждения |