Гарантия от производителя
Настольная установка магнетронного напыления металлов Nano-Structured Coatings DST3 для исследований в РЭМ
- Производитель: Остек-АртТул
- Код Товара: 90948-01
По запросу
-
+
Настольная установка магнетронного напыления с тремя магнетронами DST3 используется для напыления металлов, диэлектриков, полупроводников на подложки диаметром до 200 мм
Простая конструкция и интуитивно понятный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов. Доступно 2 конфигурации установки магнетронного напыления: DST3 A - угол наклона катодов 30° и DST3 B- катоды выстроены с линию.
Опции
Доступны 2 конфигурации:
Особенности:
Простая конструкция и интуитивно понятный интерфейс позволяют оператору легко и быстро проводить обработку образцов. Доступно 2 конфигурации установки магнетронного напыления: DST3 A - угол наклона катодов 30° и DST3 B- катоды выстроены с линию.
Опции
- Вращающийся подложкодержатель;
- Дополнительная камера (материал Pyrex);
- ВЧ источник питания 600Вт;
- N2 для напуска;
- Мишени для напыления;
- Кристаллы кварца для датчика толщины.
Доступны 2 конфигурации:
- DST3 А — с 30˚ наклоном катодов;
- DST3 S — катоды выстроены с линию.
Особенности:
- Простая конструкция и дружественный интерфейс позволяют оператору легко и быстро
- проводить обработку образцов;
- Позволяет проводить процесс последовательно или одновременно с трех катодов;
- Перенос параметров процесса на USB носитель.
- Вакуумная камера диаметром 12" позволяет работать с образцами и п/п пластинами
- диаметром до 200мм;
- Благодаря материалу Pyrex, можно легко производить очистку рабочей камеры;
- Цветной, сенсорный экран позволяет просматривать лог-файлы последних 200 процессов напыления;
- Графическое отображение давления, толщины и тока во время процесса позволяет с высокой
- точностью управлять процессом напыления;
- Автоматический контроль температуры катодов;
- Ручная и автоматическая обработка;
- Напыление по времени или по требуемой толщине;
- Высокоточная система контроля толщины на основе кварцевого датчика;
- Защита от перегрева образца;
- Прецизионный регулятор потока (MFC) для подачи Ar в камеру
| Вакуумная камера | Диаметр 300 мм, Высота 180мм |
| Материал | Pyrex |
| Количество магнетронов | 3 с водяным охлаждением (опционально 1 или 2) |
| Диаметр магнетрона | 2" (опционально 4") |
| Источник питания магнетрона | 0-1000 мА |
| Вакуумная система | Турбомолекулярный насос |
| Сухой форвакуумный насос | |
| Предельный вакуум | 9х10-6 Торр |
| Расстояние между магнетроном и подложкой | Регулируемое, 4-10 см |
| Датчик давления | Aтм - 1x10-6 мбар |
| Газовая линия | Ar, с прецизионным регулятором (MFC) |
| Система управления | На основе PLC |
| Цветной, сенсорный экран | 7" |
| Питание | 220 Вт, 50 Гц, 6 А |
| Вес (без форвакуумного насоса) | 27 кг |
| Габаритные размеры (ШхГхВ), см | 60 х 50 х 47 |
Большой выбор оборудования
Быстрая качественная доставка
Индивидуальный подход