Напольный растровый электронный микроскоп Coxem CX200 Plus

Полноразмерная напольная модель сканирующего электронного микроскопа (СЭМ), которую как новички, так и опытные пользователи найдут подходящей для многих типов сложных исследований и контроля качества

В стандартную конфигурацию CX-200plus входят детекторы для получения изображений SE и BSE, а также внутренняя навигационная камера, позволяющая легко регулировать наклон и высоту стола

CX-200plus предлагает возможности получения изображений высокого разрешения по очень привлекательной цене. После оценки CX-200plus поиск наиболее экономически эффективного решения станет простым решением

Интерфейс NanoStation 4,0

Расширенный функционал и возможности графического интерфейса NanoStation 4.0: мини-карта, панорамный снимок, камероскоп, смешение сигналов и пр. NanoStation 4.0 позволяет работать в одном из двух режимов: «БАЗОВЫЙ» и «ЭКСПЕРТНЫЙ». Пользователь может выбрать оптимальный для себя режим в зависимости от опыта и навыков работы

БАЗОВЫЙ режим включает наиболее востребованные, а также улучшенные автоматизированные функции, с помощью которых начинающий пользователь может эксплуатировать РЭМ в упрощенном виде. ЭКСПЕРТНЫЙ режим включает все функции, которые позволяют опытному пользователю настраивать дополнительные параметры для получения наилучших результатов



Панорама

Функция панорамного снимка NanoStation 4.0 позволяет объединить сотни или тысячи изображений РЭМ путем их сшивки в одно объединенное изображение. С помощью этой функции пользователь может получать изображения больших областей в высоком разрешении



РЭМ

СОХЕМ предлагает кольцевой детектор ПРЭМ. Предусмотрен Выбор светлопольного (BF) и темнопольного (DF) режима. Одновременно можно загружать 4 образца на сетке ПЭМ. При этом можно выполнять точный анализ ЭДС без дополнительной регулировки



Двойной дисплей / смешение сигналов

Режим двойного дисплея
Возможность одновременно просматривать SE и BSE-изображение в режиме двойного дисплея

Режим смешения сигналов
Наложение SE- И ВЅЕ-изображения позволяет объединить их преимущества в составном снимке



ЭДС

Система ЭДС-анализа Aztec позволит по-новому представлять данные, получать более точные результаты, извлекать ценную информацию, просматривать изображения в высочайшем разрешении и максимально быстро решать задачи



Feature / GSR / LayerProbe

Aztec Feature сочетает скорость и чувствительность кремниевого дрейфового детектора X-max с высокими аналитическими возможностями и удобством использования пакета для ЭДС-анализа Aztec. Это наиболее передовая автоматизированная платформа для анализа частиц на рынке



LayerProbe - это удивительное новое программное средство для тонкопленочного анализа в РЭМ. LayerProbe поставляется как опция для микроаналитической ЭДС-системы Aztec, но обладает более высокой скоростью, требует меньших затрат и обеспечивает более высокое разрешение по сравнению
специализированными средствами измерения тонких пленок

Возможности:

• Анализ тонких пленок в РЭМ
• Получение характеристик множества слоев под поверхностью образца
• Неразрушающий анализ
• Поперечное разрешение до 200 нм
• Легкость настройки для обычного пользователя, экономически эффективное расширение РЭМ

ДОЭ

Symmetry обеспечивает бескомпромиссное качество и лучшие характеристики в своем классе на всех образцах, позволяя по- новому строить рабочий процесс ДОЭ. Непревзойденная скорость анализа свыше 3000 имп/с на реальных образцах сочетается с высокой чувствительностью, высоким разрешением рисунка и инновационными элементами конструкции

Опциональные изделия

• Катодолюминесцентный детекторЭДС (Oxford, Bruker)
• ДОЭ (Oxford, Bruker)
• ВДС (Oxford, Bruker)
• ПРЭМ (режим BF, DF)
• Наноманипуляторы
• Охлаждаемый столик (от -30 до 50 °C)

Условия установки

Питание	110 В/220 В 50/60 Гц Заземление 3 В, мощность 1 кВА
Вибрация	Менее 35 дБ
Магнитное поле	Менее 0,50 мГс
Акустический шум	Менее 60 дБ
Температура	20 °C ±5 °C
Влажность	Менее 70 %

Пространство для установки

Разрешение SE	3,0 нм при 30 кВ 8,0 нм при 3 кВ
Разрешение BSE	4,0 нм при 30 кВ
Увеличение	от x15 до x300 000
Цифровое увеличение	x2, x4
Ускоряющее напряжение	от 1 до 30 кВ
Максимальный размер образца	160 мм в диаметре
Предметный столик	Моторизованный по 5 осям X: 0~60 мм Y: 0~60 мм Z: 5~60 мм R: 360° T: -20~90°
Область наблюдения	70 мм в диаметре
Максимальная высота	55 мм
Управление столиком	Эвцентрическое
Электронная пушка	Вольфрамовая нить (W)
Детектор	SED BSED
Управление	Мышь Клавиатура
Автоматическая настройка изображения	Автофокус Автоматическая яркость и контрастность Автоматическое насыщение филамента Автоматический пуск
Особые характеристики	Двойной дисплей Смешение сигналов Компоновка/топография Навигация Панорама (большая область)