Система включает в себя базовый блок с управляющей электроникой, углеродный испаритель, вакуумную систему с форвакуумным насосом, предметный столик с возможностью вращения, большую камеру из боросиликатного стекла, сенсорный экран управления размером 7 дюймов, программное обеспечение на русском языке, книгу «рецептов» напыления и стартовый набор расходных материалов.
Система может быть дополнительно оснащена измерителем толщины покрытия на основе кварцевых весов, держателем образцов, вакуумной системой на базе турбомолекулярного насоса, различными комплектациями расходных материалов (углеродные шнуры/стержни, кварцевые кристаллы, уплотнители, набор для чистки камеры), а также предметным столиком с нагревом для увеличения адгезии покрытия. Некоторые опции могут быть доступны по запросу.
Испаритель
- Материалы напыления: углерод (Стержень, Шнур*)
- Тип испарителя: резистивный, токовый, импульсный
- Максимальный ток: импульса испарителя — 90 А
Вакуумная камера
- Материал вакуумной камеры: ьоросиликатное, прозрачное бесцветное стекло
- Внутренний диаметр вакуумной камеры: 156 мм
- Высота вакуумной камеры: 150 мм
- Диаметр столика для образцов: 100 мм
- Вакуумная система: полностью автоматическая, форвакуумный / турбомолекулярный насосы
- Производительность форвакуумного насоса: 19,8 м3/ч
- Производительность турбомолекулярного насоса: 90 л/с
Предметный столик
- Максимальная скорость вращения столика: 20 оборотов в мин.
- Держатели образцов: стандартный держатель / держатель под задачи
Программное обеспечение
- Управление процессом напыления: графический сенсорный экран 7”
- Измерение давления (встроенный датчик вакуума): диапазон: 1000 мбар – 10-3 мбар (форв. насос) / 1000 мбар – 10-9 мбар (турбонасос)
- Измерение толщины покрытия: Кварцевые весы
- Сохранение и загрузка пользов. рецептов >1000 шт
- Габариты и вес (без опций): 450х300х400 мм, 22 кг