A500 Ионно-лучевая машина для разделения, полировки и эцетирования

Ионно-лучевая микро- и нанообработка - это передовая технология, которая в настоящее время используется в подготовке образцов для трансмиссионной электронной микроскопии (ТЭМ), подготовке образцов для сканирующей электронной микроскопии (СЭМ) и анализе полупроводников и новых материалов для новых источников энергии. Она может выполнять функции микро- и нанообработки, такие как очистка поверхности, удаление материала с поверхности, местное эцетирование, нарезка сечений и полировка образцов.

Подходит для подготовки образцов для электронной микроскопии различных материалов, таких как биология, керамика, металлы, полупроводниковые материалы, материалы для новых источников энергии и т. д.; подходит для аналитического анализа полупроводниковых устройств, аккумуляторов и т. д.

• Тонкое сечение, полировка, травление
• Охлаждение жидким азотом (по желанию)
• Вакуумный транспорт образцов (по желанию)
• Источник газа: Высокая чистота аргона ≥99,999%
• Расход газа: ≤1 ссм
• Максимальный вакуум: 1x10-3 Па
• Энергия ионов: 0~10 кВ
• Охлаждение: Охлаждение жидким азотом -70°C (по желанию)
• Скорость травления: 60 мкм/ч (медь）
• Размер прибора: 500×500×500 мм
• Вес прибора: 50 кг
• Источник питания: Постоянный ток 220 В, 50 Гц