Конфокальный оптический микроскоп ConoN CM100

Конфокальный микроскоп серии CM представляет собой прибор для измерения микро-наноуровня различных прецизионных устройств и поверхностей материалов. Прибор основан на принципе конфокальной технологии в сочетании с высокоточным модулем сканирования в направлении Z, алгоритмом 3D-моделирования для бесконтактного сканирования поверхности детали и создания 3D-изображения поверхности.

С помощью системного программного обеспечения осуществляется обработка и анализ данных 3D-изображения поверхности детали и получение 2D- и 3D-параметров, отражающих качество поверхности детали, при использовании оптического контрольно-измерительного прибора для измерения 3D-формы поверхности детали. Прибор может измерять поверхность различных объектов: от гладких до шероховатых, поверхности от низкого до высокого коэффициента отображения поверхности, шероховатость детали от уровня нанометров до уровня микрометров, а также равномерность, микрогеометричность контуров, кривизну и т.д. В соответствии с четырьмя основными отечественными и зарубежными стандартами ISO/ASME/EUR/GBT предоставляет более 300 видов 2D и 3D параметров в качестве критериев оценки.

Характеристики и особенности

1. Высокая точность и высокая повторяемость

• Измерительная система, основанная на конфокальной оптической системе с вращающимся диском в сочетании с высокостабильной структурной конструкцией и превосходным алгоритмом трехмерной реконструкции, обеспечивает высокую точность измерений прибора.
• Уникальная конструкция изоляции от вибраций может снизить вибрационный шум основания.Прибор стабилен и надежен в большинстве сред и имеет хорошую повторяемость измерений.

2. Комплексное программное обеспечение для измерения и анализа

• Измерение и анализ выполняются на одном и том же интерфейсе без переключения, а данные измерений автоматически подсчитываются, реализуя функцию быстрого измерения партии.
• Благодаря окну визуализации пользователи могут наблюдать за процессом сканирования в режиме реального времени.
• В сочетании с функцией автоматического измерения пользовательского шаблона анализа процесс измерения и анализа в нескольких областях может выполняться автоматически.
• Предоставление пяти функциональных модулей геометрического анализа, анализа шероховатости, структурного анализа, частотного анализа и функционального анализа.
• Анализ в один клик, анализ нескольких файлов, свободно комбинируемые элементы анализа сохраняются в виде шаблона анализов, анализ партии в один клик, предоставление анализа данных и функций статической диаграммы и таблицы.
• Возможность измерения более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии со стандартами ISO/ASME/EUR/GBT и другими стандартами.

3. Высокоточный рычаг управления

• Рычаг управления, интегррованный с функциями регулировки смещения в трех направлениях X, Y и Z, позволяет быстро выполнить предварительные измерения, такие как перемещение предметного столика и фокусировка в направлении Z.

4. Двойные меры защиты от столкновений

В дополнение к программному обеспечению ZSTOP, устанавливающему нижний предел смещения в направлении Z для защиты от столкновений, на оси Z предусмотрен механический и электронный датчики. Когда линза касается поверхности образца, прибор автоматически входит в режим состояние аварийной остановки для максимальной защиты прибора и снижения операционного риска/

Область применения

Модель прибора		CM100	CM200	CM300
Дальность шага	X	100мм	200мм	300мм
	Y	100мм	200мм	300мм
	Z	100мм	100мм	100мм
Габариты		520×380×600мм	720×580×1500мм	1000×900×1500мм
Вес прибора		50 кг	400 кг	500 кг
Принцип измерения		Конфокальная оптическая система
Объектив микроскопа		10×, 20×, 50×, 100×
Диапазон обзора		120×120 мкм~1.2×1.2 мм
Измерение высоты	Повторяемость*1 (1σ)	12нм
	Точность*1	± (0.2+L/100) мкм
	Разрешение экрна	0.5нм
Измерение ширины	Повторяемость*1 (1σ)	40нм
	Точность*1	± 2%
	Разрешение экрна	1 нм
XY перемещающаяся платформа	Загрузка	10 кг
	Способ управления	Электрический
Диапазон сканирования оси Z0		10 мм
Вышка объектива		5 электрических отверстий
Источник света		Белый свет LED
Рабочая среда	Источник питания	100-240 ВПТ, 50/60Гц, 2A мощность 300Вт
	Рабочая температура	Температура 15°С~30°С, градиент температуры < 2°С/60мин.
	Относительна влажность	5%~95%ОВ, нет конденсации влаги
	Вибрация окружающей среды	VC-C или лучше
	Прочее	Нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа

*1 Используйте объектив с увеличением 50X для измерения образца со стандартным уступом 4,7 мкм в лабораторных условиях.

*2 Используйте объектив с увеличением 50X для измерения стандартного шаблона с рисками в лабораторных условиях.