Интерференционный микроскоп IMOS

Микроскоп обеспечивает точные, количественные, совместимые со стандартом ISO, бесконтактные измерения профиля поверхности с возможностью захвата до двух миллионов точек данных за считанные секунды. Оборудование способно работать в режиме микроизмерений и наноизмерений в зависимости от оптической системы и решать любые задачи.

С помощью системы легко и быстро производятся измерения широкого диапазона типов поверхностей, включая гладкие, грубые, плоские, наклонные и ступенчатые. Все измерения являются неразрушающими и не требуют специальной пробоподготовки.

В основе микроскопа IMOS лежит технология интерференции частично когерентного света, которая обеспечивает субнанометровую точность измерений более широкого диапазона высот, чем другие доступные технологии.

ПРОИЗВОДИТЕЛЬНОСТЬ, ТОЧНОСТЬ И УНИВЕРСАЛЬНОСТЬ

Профилометр IMOS особенно хорошо решает такие задачи, как измерения на плоскости, измерения шероховатости и волнистости, высоты ступеней и т. д. Он оснащен зум-системой, которую можно дополнить дискретным оптическим объективом. Конфигурации прибора варьируются от полностью автоматизированного прибора с моторизированным столиком и зумом до ручного.

Выходные данные можно преобразовать в любой удобный формат, можно использовать 3D-модели для измерений, а также экспортировать данные для работы в другом аналитическом программном обеспечении.

Основные преимущества:

• Z-разрешение в режиме наноизмерений:
  
• ~ 30 часов (с зеркалом с атомно-гладким зеркалом);
• ~ 0,3 мкм в режиме микрорельефа.

• Компактность.
  
• Быстрый отклик.
  
• Устойчивость к внешним вибрациям.
  
• Высокая степень автоматизации процесса измерения.
  
• Специальный удобный интерфейс.
  
• Высококачественный графический интерфейс для работы с многоплановыми 3D-представлениями результатов измерений.
  
• Широкие возможности настройки микроскопа для различных морфологий измеренных поверхностей.
  
• Возможность работать в двух режимах: микрорельеф и нанорельеф (оба одновременно).
  
• Позиционирование объекта измерений в трех координатах.
  
• Возможность измерения больших площадей путем сшивания результатов индивидуального измерения.
  
• Уникальная система хранения и систематизации результатов измерений.
  

Результаты измерений, полученные в режиме нанорельефа

Pd на подложке Si, высота 100 нм

Ступени на поверхности кристалла Si, высота 0,314 нм

Сертифицированный калибр, номинальное значение высот 101 нм ± 3 %

Характеристики модулей, входящих в систему

Фотодетектор*: CCD-матрица 1392-1040 пикс.

Источник света*: LED (_eff = 630 нм)

Объективы*: 20x (or 10x, 5x), 2 штуки в схеме без смены увеличений (возможно переустановить)

Сканнер: керамический пьезоэлектрический элемент

Столик:

• 1d (Z) ход 50 мм
  
• 2d (XY) ход 75x50 мм
  

Контроллер:

• CCD-камеры интерфейс
  
• Контроллер столика
  
• Блок управления электроникой
  

Персональный компьютер: стандартный

Программное обеспечение:

• ПО IMOS
  
• Операционная система / MS Windows
  

Результаты измерений, полученные в режиме микрорельефа

Сертифицированный калибр, высота 40 ± 1,2 мкм

Дифракционный элемент высотой 3,7 мкм

Технические возможности

Измеряемая область: 0,4x0,3 мм2 (для 20X)

Размер пикселя: 0,3 мкм (для 20X)

Латеральное разрешение: не хуже 1 мкм

Режим измерений:

• режим микрорельефа
  
• режим нанорельефа
  

Разрешение по Z:

• режим микроизмерений ~ 0,3 мкм
  
• режим наноизмерений ~ 30 пм (с атомно-гладким зеркалом)

Диапазон измерений:

• режим макрорельефа до 50 мм
  
• режим нанорельефа до 20 мкм
  

Производительность измерений:

• режим макрорельефа ~ 4 мкм/сек
  
• режим нанорельефа ~ 20 мкм/10 сек