Гарантия от производителя
Измерение формы поверхности от микрометров до нанометров
Прибор оснащен такими ключевыми технологиями, как датчик смещения с субангстремным разрешением, улавливание сигнала со сверхнизким шумом, сверхточное управление перемещением, алгоритм калибровки, имеет хорошие рабочие характеристики.
Стилусный профилометр широко используются в университетах, исследовательских лабораториях и институтах, полупроводниках и сложных полупроводниках, LED повышенной яркости, солнечной энергетике, микроэлектромеханике MEMS, сенсорных экранах, автомобилях, медицинском оборудовании.
Стилусный профилометр использует измерение топографии контактной поверхности, что является новой разработкой традиционного измерения топографии поверхности. Минимальная контактная сила, отсутствие особых требований к отражающим характеристикам измерительной поверхности, типу материала, твердости материала. Имеет широкий диапазон адаптации образцов, высокую воспроизводимость данных, стабильность измерений, удобство и эффективность. Является наиболее широко используемым методом измерения микро-нанообразцов при измерении микроповерхностей
Типичное применение
Полупроводники | Крупногабаритные платы | Стеклянная подложка и дисплей | Пленки для гибкой электроники |
| |
|
|
| Модель продукции | PC20 |
| Технология измерения | Технология измерения контура поверхности с помощью зонда |
| Наблюдение образца | Оптическая навигационная камера: цветная камера высокого разрешения с разрешением 5 млн. пикселей,-FoV, 2200*1700 мкм |
| Датчик зонда | Ультранизкая инерция, датчик LVDC |
| Измерение силы | 1-50 мг регулируемо |
| Выбор зонда | Радиус кривизны зонда 2 мкм, внутренний угол 60° |
| Диапазон перемещения платформы X/Y | Электрический X/Y (150 мм*150 мм) (возможно ручное выравнивание) |
| Образец R-θ | |
| предметный столик | Электрический, непрерывное вращение на 360° |
| Длина одного сканирования | 55 мм |
| Максимальная толщина образца | 50 мм |
| Максимальный размер кремниевой пластины на предметном столике | 150 мм (когда 6), 200 мм (когда 8) |
| Повторяемость высоты шага | 5 А, когда диапазон 330 мкм / 10 А, когда диапазон 1 мм (измерение высоты шага 1 мкм, 1b) |
| Диапазон датчика *1 | 330 мкм или 1 мм |
| Определение вертикали | Разрешение Большой выбор оборудования
Быстрая качественная доставка
Индивидуальный подход
|