Поверхностный акустический микроскоп SAM-MINI ACOULAB

Ультразвуковая акустическая микроскопия, как метод неразрушающего контроля, позволяет выявлять дефекты или особенности внутренней структуры приборов или компонентов в тех случаях, когда другие методы сканирования оказываются неэффективными
Базовым способом поиска дефектов является эхо-метод (метод отраженных импульсов). В однородной среде твердого тела любая граница раздела будет приводить к отражению волны. Рабочая голова микроскопа регистрирует обратный сигнал, позволяя по эхограмме определить размеры дефекта и его расположение

В микроэлектронике акустическая микроскопия применяется для выявления дефектов выводов flip-chip микросхем, пустот и расслоений, образующихся при монтаже и заливке кристаллов, трещин и повреждений микросхем и т. п. К другим применениям технологии ультразвукового сканирования можно отнести поиск следов затертой маркировки электронных компонентов, осуществляя непрерывный контроль производства от входа до выхода

Примеры применения





Преимущества

• простой принцип действия;
• высокая проникающая способность акустической волны;
• высокая чувствительность, позволяющая распознавать субмикронные дефекты;
• возможность объемного контроля;
• возможность исследования широкой номенклатуры помимо изделий электронной промышленности;
• поиск внутренних дефектов в компонентах flip-chip;
• выявление дефектов герметизации в микросхемах;
• выявление следов перемаркировки компонентов;
• контроль расслоения на подложках и печатных платах;
• поиск дефектов монтажа кристаллов (загрязнения, расслаивание адгезива, пустоты и др.);
• выявление дефектов в LTCC;
• контроль монтажа на уровне пластин FI/FO WLP;
• контроль монтажа MEMS/MOEMS;
• безопасность для оператора и среды.

Ультразвуковой генератор/приёмник	Диапазон частот: 1 – 50 МГц
	Достаточная полоса частот для проверки большинства печатных плат с EMC
Аналогово-цифровой преобразователь	Частота дискретизации 500 MС/с в реальном времени, 8 бит
Механический сканер	Ось сканирования (линейный серводвигатель), максимальная скорость 750 мм/с, повторяемость +/-1 микрон, разрешение энкодера 1 микрон
	Ось индекса – микрошаговый двигатель со свинцовым винтом, шаг 1 мкм
	Вертикальная ось – микрошаговый двигатель со свинцовым винтом, максимальный ход 80 мм, шаг 1 микрон
Общее	Размеры резервуара для иммерсионной жидкости 430 мм x 410 мм x 90 мм
	Область сканирования 350 мм x 100 мм x 80 мм
	Размеры основного блока 720 мм x 715 мм x 425 мм
	Вес ~ 35 кг