Гарантия от производителя
Измерение крупногабаритной микротрехмерной формы в один клик
- Плоскость формы большого размера
- Совместимые 12-дюймовые вакуумные присоски
- Автоматизированное измерение полупроводниковых пластин
Специальные функции в области полупроводников
- Одновременно поддерживает измерение кремниевых полупроводниковых пластин трех размеров (6, 8 и 12 дюймов) и выполняет автоматическое переключение трех видов вакуумных присосок для адаптации к кремниевым полупроводниковым пластинам разных размеров в один клик.
- Обладает функцией автоматического измерения шероховатости утонченного листа после процесса шлифования и может в один клик измерить шероховатость десятков небольших областей для получения среднего значения.
- Обладает функцией измерения контурных данных глубины и ширины канала после его лазерного прорезания в процессе скайбирования и может в один клик выполнить измерение и анализ данных поверхности и нескольких секционных линий поверхности, связанных с глубиной и шириной канала.
- Благодаря измерению высоты уступа покрытия во время изготовления кремниевых полупроводниковых пластин с диапазоном измерения от 1 нм до 1 мм реализует высокоточные измерения.
| Модель прибора *1 | IntoM OP300 | |||
| Габариты прибора | (1000X900X1500) мм | |||
| Вес системного блока прибора | < 500 кг | |||
| Источник света | Белый свет LED | |||
| Система изображения | 1024X1024 | |||
| Интерференционный объектив | 10X,(2.5X,5X, 20X,50X,100X) | |||
| Оптический ZOOM | 0.5X, (0.75X , 1X , 0.375X ) | |||
| Стандартное поле обзора | 0.98X0.98мм | |||
| Вышка объектива | 5 электрических отверстий | |||
| XY перемещающаяся платформа | Размер | 450X450мм | ||
| Диапазон перемещения | 300X300мм | |||
| Нагрузка | 10кг | |||
| Способ управления | Электрический | |||
| Настройка уровня | ±6°,электрический | |||
| Фокус оси Z | Ход | 100мм | ||
| Способ управления | Электрический | |||
| Диапазон сканирования направления Z | 10мм | |||
| Разрешение направления Z | 0.1нм | |||
| Измеримый коэффициент отражения образца | 0.05%-100% | |||
| Повторяемость RMS шероховатости | 0.005нм | |||
| Измерение шага | Точность | 0.3% | ||
| Повторяемость | 0.08% 1σ | |||
| Экологические требования | ||||
| 1 | Рабочая среда: нет мощного магнитного поля, нет разъедающего газа. | 4 | Вибрация окружающей среды: VC-C или лучше | |
| 2 | Рабочая температура: 15°С~30°С, температурный градиент 2°С/60 мин | 5 | Источник воздуха с виброизоляцией: источник 0.8 Mpa регулирование давления источника | |
| 3 | Относительная влажность: 5–95 %RH, без конденсации влаги. | 6 | Источник питания: 330 Вт | |
| Прочие требования | ||||
| 1 | Источник света не следует держать в ярком режиме в течение длительного времени. | 2 | Не шатайте прибор руками во время измерения. | |
Большой выбор оборудования
Быстрая качественная доставка
Индивидуальный подход