Гарантия от производителя
Оптическая интерференция белого света Измерение микро-нано 3D-формы в один клик
Область применения
Прибор имеет широкое применение в таких промышленных отраслях, как полупроводники, 3С электроника, особовысокоточная обработка, оптическая обработка, микро-наноматериалы, микроэлектромеханика и т.д., а также используется для измерения и анализа шероховатости поверхности, геометрического контура и других параметров прецизионных деталей.
| | | |
| Интерференционный объектив Линзы с разным увеличением подходят для образцов с различным типом поверхности: от ультрагладкой до шероховатой. | Стенд для вакуумной адсорбции Стенд для вакуумной адсорбции, предназначенный для полупроводниковых пластин, слабые возмущения воздушного потока в воздухе во время процесса измерения | Двуканальная система виброизоляции и воздушной флотации Двухканальная система виброизоляции и воздушной флотации, которая напрямую наполняет воздухом внешний источник газа и устройство для повышения давления, может эффективно изолировать вибрационный шум, исходящий от земли |
| | | |
| Изоляция звуковой вибрации Корпус измерительного прибора и механизм внутреннего движения имеют раздельные конструкции, что способствует эффективной изоляции передачи звуковой вибрации | Устройство настройки уровня Наклоните ручку регулировки, чтобы отрегулировать ширину полосы и повысить точность реконструкции 3D-изображений | Удобный рычаг управления Имеет эргономичный дизайн, включает автоматическое управление трехосным XYZ перемещением и скоростью вала, а также яркостью источника света. Оснащен клавишей аварийной остановки |
Прибор имеет широкое применение в таких промышленных отраслях, как полупроводники, 3С электроника, особовысокоточная обработка, оптическая обработка, микро-наноматериалы, микроэлектромеханика и т.д., а также используется для измерения и анализа шероховатости поверхности, геометрического контура и других параметров прецизионных деталей.
Пример применения
Измерение и анализ характеристик формы поверхности различных изделий: равномерность деталей и поверхности материалов, шероховатость, волнистость, контур формы поверхности, дефект поверхности, износ, коррозия, интервал зазора, высота уступа, деформация изгиба, обработка и т.д.
ПО для измерения и анализа Vision 3D
Интегрированное системное ПО; измерение и анализ выполняются через один и тот же интерфейс, параметры анализа предварительно установлены, ПО автоматически подсчитывает данные измерений и реализует функцию быстрого измерения партии.
Таблица оптических спецификаций
| Увеличение объектива | 2.5x | 5x | 10x | 20x | 50x | 100x | ||
| Числовая апертура | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 | 0.7 | ||
| Оптическое разрешение при 550 нм (мкм) | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 | 0.4 | ||
| Глубина резкости (мкм) | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 | 0.56 | ||
| Рабочее расстояние (мм) | 10.3 | 9.3 | 7.04 | 4.7 | 3.7 | 2.0 | ||
| Поле обзора H x V (мм) | Система изобра- жения 1024×1024 | 0.5x | 3.84×3.84 | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.192×0.192 | 0.096×0.096 |
| 0.75x | 2.56×2.56 | 1.28×1.28 | 0.64×0.64 | 0.32×0.32 | 0.128×0.128 | 0.064×0.064 | ||
| 1x | 1.92×1.92 | 0.96×0.96 | 0.48×0.48 | 0.24×0.24 | 0.096×0.096 | 0.048×0.048 | ||
| Модель прибора *1 | OP100 | OP100P | OP100U | |
| Источник света | Белый свет LED | |||
| Система изображения | 1024X1024 | |||
| Интерференционный объектив | Стандарт: 10X Опционально: 2.5X, 5X, 20X, 50X, 100X | |||
| Оптический ZOOM | Стандарт: 0.5X Опционально: 0.375X, 0.75X, 1X | |||
| Стандартное поле обзора | 0.98X0.98mm (10Xобъектив, оптический ZOOM 0.5X) | |||
| Вышка объектива | Стандарт: 3 ручных отверстия Опционально: 5 электрических отверстий | |||
| XY перемещающаяся платформа | Размер | 320X200мм | 300X300мм | 320X200мм |
| Диапазон перемещения | 140X100мм | 200X200мм | 140X100мм | |
| Нагрузка | 10кг | |||
| Способ управления | Электрический | |||
| Настройка уровня | ±5° | |||
| Фокус оси Z | Ход | 100мм | ||
| Способ управления | Электрический | |||
| Диапазон сканирования направления Z | 10 мм | |||
| Повторяемость формы *2 | 0.1нм | |||
| Повторяемость RMS шероховатости*3 | 0.005нм | |||
| Измерение шага *4 | Точность: 0.3 % Повторяемость: 0.08 % (1σ) | |||
| Скорость сканирования при разрешении 0.1 мкм | 1.85nm/s | 1.85nm/s | 8Hm/s | |
| Измеримый коэффициент отражения образца | 0.05%~100% | |||
| Вес измерительного прибора | 10нм, окружающая среда не соответствует требованиям к использованию оборудования, необходимо изменить место измерения.
Большой выбор оборудования
Быстрая качественная доставка
Индивидуальный подход
| |||