Система вибрационного контроля AVOS MD для крупного аналитического оборудования и полупроводниковой промышленности

Модульные активные виброизолирующие системы серии AVOS MD предназначены для защиты от шумов крупногабаритных аналитических приборов (РЭМ, ТЭМ, и т.п.) и установок для полупроводникового производства.

В зависимости от веса (максимальный – 4000 кг) изолируемый прибор можно установить на 4 – 8 активных платформ. Мы специально минимизировали их размер, который составляет 270x230x75 мм. Благодаря этому, инсталляция системы AVOS MD очень проста. Она не требует поднимать уровень пола в лаборатории, что очень часто приходится делать при использовании аналогичных установок других производителей.

В качестве активного элемента системы подавления шумов мы используем уникальную технологию электромагнитных приводов (Voice coils). В отличие от активных элементов предыдущего поколения, работающих на пьезоэффекте, электромагнитные приводы не имеют резонансов на низких частотах и у них широкий рабочий ход. Это обеспечивает более надежную защиту от шумов с частотой менее 2 Гц, а также позволяет эффективно подавлять даже очень сильные шумы.

Модульные системы AVOS MD – новое поколение приборов для защиты от вибраций. Они позволят надежно изолировать чувствительное оборудование и забыть о насосе в соседней лаборатории, грохоте грузовиков за окном и других назойливых источниках шума.

Ключевые преимущества:

• Использование электромагнитных приводов (Voice coils) в качестве активного элемента позволяет избавиться от внутренних резонансов на низких частотах. Благодаря этому системы AVOS более эффективно подавляют шумы в диапазоне 0 – 2 Гц, чем их аналоги с пьезо-приводами.
  
• Минимализм конструкции при максимуме полезных опций. Размер одного изолятора составляет 270x230x75 мм. Использование системы AVOS MD не требует поднимать уровень пола в лаборатории, что очень часто приходится делать при использовании аналогичных установок других производителей.
• Рабочий ход (actuator stroke) электромагнитных приводов (Voice Coils) составляет 250 микрометров. Это примерно в 10 раз больше, чем для пьезо-приводов и обеспечивает эффективное подавление даже очень сильных шумов.
• Полностью развязанная патентованная архитектура позволяет осуществлять раздельную отработку вибраций по трём осям X, Y и Z в 6 степенях свободы. Благодаря этому минимизируется перекрёстное влияние шумов от различных источников в процессе их подавления.
• Специальное программное обеспечение позволяет нашему инженеру подключаться по удалённому доступу и проводить тонкую настройку параметров активного подавления, если в лаборатории появился новый источник вибраций. Интеллектуальные алгоритмы позволяют инженеру сдвигать полосу подавления в диапазоне от 0 до 3000 Гц, подстраиваясь даже под самые редкие источники. При этом платформы AVOS AR работают полностью в автоматическом режиме и не требуют пользовательской настройки.

Сравнение изображений с микроскопа

Система без виброзащиты	Система с виброзащитой

Уровень подавления шума > 90%		Начинается от частоты 1.5 Гц и выше
Подавление шума на 1 Гц		60%
Активная полоса подавления шума		0,5 - 100 Гц
Возможность сдвига активной полосы подавления шума		В диапазоне 0 - 3000 Гц
Активные степени свободы		6
Ход приводов активной изоляции		250 мкм
Время релаксации		0,1 сек
Рабочая нагрузка по весу		до 4000 кг
Размер одного изолятора		270x230x75 мм, не требует поднятия уровня пола в лаборатории
Активные элементы изоляции		Электромагнитные приводы
Пассивные элементы изоляции		Амортизированные пружины
Архитектура раздельной отработки шумов по трём осям		Отсутствует перекрестное влияние шумов от различных источников
Интерфейс		Встроенный веб-сервер, LED индикаторы
Средства диагностики		Встроенный осциллограф реального времени и спектральный анализатор