Оптический профилометр IntoM OP300

Измерение крупногабаритной микротрехмерной формы в один клик

• Плоскость формы большого размера
• Совместимые 12-дюймовые вакуумные присоски
• Автоматизированное измерение полупроводниковых пластин

Специальные функции в области полупроводников

• Одновременно поддерживает измерение кремниевых полупроводниковых пластин трех размеров (6, 8 и 12 дюймов) и выполняет автоматическое переключение трех видов вакуумных присосок для адаптации к кремниевым полупроводниковым пластинам разных размеров в один клик.
• Обладает функцией автоматического измерения шероховатости утонченного листа после процесса шлифования и может в один клик измерить шероховатость десятков небольших областей для получения среднего значения.
• Обладает функцией измерения контурных данных глубины и ширины канала после его лазерного прорезания в процессе скайбирования и может в один клик выполнить измерение и анализ данных поверхности и нескольких секционных линий поверхности, связанных с глубиной и шириной канала.
• Благодаря измерению высоты уступа покрытия во время изготовления кремниевых полупроводниковых пластин с диапазоном измерения от 1 нм до 1 мм реализует высокоточные измерения.